반도체 산업용
츠바키 상품
저발진성, 고정밀도 등이 요구되는 반도체 제조 장치에 대한 상품의 제안이 가능합니다.
운반
로봇에 의한 반송
웨이퍼 반송 로봇
채용 용도
로봇 암 구동, 로봇 주행
주행시의 높은 정지 위치 정밀도, 고속성, 저발진성이 요구됩니다.
케이블 베이어
사용 환경에 따른 저발진 상품을 제안합니다
TKP형 MW 사양
「고접동성 특수 재료」를 사용함으로써, 케이블・튜브의 보호성 향상 및 저발진을 실현한 고기능 케이블 베이어 입니다.
POINT
저발진, 고범용성
TKR형
츠바키 독자적인 굴곡 기구에 의해, 저발진, 저소음, 저진동을 실현합니다.
POINT
- 청정도 ISO 클래스 3(사내 시험 결과)
- 조용한
파워록 커플링
스테인리스 사양
무전해 니켈 도금 사양
풍부한 라인업과 확실한 품질로, 내환경의 요구에 매치
POINT
깨끗한, 내식성, 고범용성
타이밍 벨트
울트라 PX 벨트 HC사양
울트라 PX 벨트 HY사양
고정밀도・고강도를 추구한 전동 벨트
고정밀도・고강도를 한층 더 추구한 전동 벨트로, 장치의 콤팩트화에 공헌합니다. 마모 분말의 비산이 매우 작고 깨끗합니다. 또한 고강도 고강성의 HY사양도 준비하고 있습니다.
POINT
고정밀, 고속
풀리
록풀리 사양
키리스 체결구를 일체화한 타이밍 풀리 입니다. 각 부품의 표면 처리에 의해 내식성 향상과 윤활유 불필요한 드라이 체결을 실현했습니다.
POINT
체결 가타 제로, 간단 주문
깨끗한 이송 시스템
천장 이송 시스템
Autran Vanguard
천장 공간에서 깨끗한 반송을 실현
중량물 반송(max.200kg), 집전부로부터의 발진이 제로(비접촉 급전), 제조 장치에의 다이렉트 반송. 클린 유닛 탑재에 의해 워크에 대해 높은 클린도를 유지 가능.
POINT
집전부로부터의 발진 제로, 중량물 반송(최대 200 kg)
승강
AMR에 의한 후프 반송
AGV나 AMR상의 승강 기구에 짚 체인 액추에이터를 사용함으로써 저상화에 공헌합니다.
POINT
공간 절약, 낮은 바닥
짚 체인 시리즈
짚 체인 액추에이터
좁은 공간에서도 설치 OK, 다채롭게 사용할 수 있는 직선 작동기
공간 절약으로 고속·고주파 운전에 대응하여 기름·공압 실린더와 비교하여 사용 전력량도 대폭 삭감 가능합니다. 고정도의 다점 정지가 가능하고, 설치 방향도 자유입니다.
AMR 승강
유압 리프터, 와이어 방식
정지 정밀도가 낮고 리프터와 바닥면 사이에 단차가 생깁니다.
폴 나사식
장스트로크 화가 어려움
짚 마스터가 해결됩니다!
POINT
- 고정밀도 : 탈 때의 단차를 억제
- 고속: 택트 타임 단축
- 고양정 : 최대 4m까지 대응 가능
짚 체인 시리즈
짚 마스터
짚 체인 이용한 놓아 폰으로 고속 승강 가능한 외팔보식 리프터
두는 것만으로 사용할 수 있는 「일체 설치형」설계로, 고속・고빈도・고양정이므로 다양한 용도에 사용할 수 있습니다.
뚜껑 개폐 기구
리프트마스터는 장비 뚜껑을 승강시키는 데 사용됩니다. 뚜껑이 달린 암을 수동으로 선회 가능한 구조도 제안 가능합니다.
POINT
설치・조작성이 간단, 기름 누출 없이 청결
외팔보 식 리프터
리프트마스터
고정밀 다단 위치 결정이 가능한 볼 나사/사다리꼴 나사를 사용한 외팔보식 리프터
「일체 설치형」설계로, 생산 라인을 자유롭게 레이아웃 할 수 있어 취급도 간단합니다. 전동화에 의해 작업 환경도 개선되어 에너지 절약에도 기여합니다.
클린 대응
각 부품으로부터의 발진을 저감시키는 대응이 가능합니다.
- 특수 표면 처리(볼 나사·가이드)
- 스테인레스 스틸 커버
- 클린 그리스 도포(볼 나사·가이드)
- 베이킹 페인트
후프 수직 순환 이송
후프의 계층간의 반송 장치의 승강부에 람다체인 채용되고 있습니다. 외부로부터의 급유가 불필요하므로 장치의 메인터넌스 공수의 삭감, 기름의 비산을 억제한 깨끗한 환경의 실현에 공헌합니다.
POINT
- 유지 보수 공수 감소
- 깨끗한 환경 유지
무급유 드라이브체인
람다체인
특수함유부쉬 채용한 무급유 체인
자기 윤활 기능을 갖춘 특수함유부쉬를 채용하고 있어, 무급유 ・장수명의 사용이 가능합니다.
회전·전동
웨이퍼 연마 장비
정반 회전 구동용으로 회전 불균일이 작고 컴팩트성을 가진 트로이드라이브의 채용 사례가 다수 있습니다. 또한 구동용 벨트 & 풀리, 브러시 구동용 감속기 등도 채용되고 있습니다.
채용 포인트
높은 전송 용량
소형
회전 불균일이 작음
검사 장치의 반전 기구
프로버의 반전 기구에 트로이드라이브가 채용되고 있습니다.
또한 웨이퍼 스테이지 가동부에 케이블 베이어, 벨트 & 풀리 등도 채용되고 있습니다.
채용 포인트
고강도&경량・컴팩트
셀프 락성・정숙성
감속기
트로이드라이브
고성능 웜 감속기
높은 전송 용량으로 얇은 콤팩트
제한된 접지 면적 중에서도 타사제 범용 웜 감속기와 비교하여 고전송 용량을 얻을 수 있습니다.
낮은 진동
미끄럼 접촉으로 전달하는 웜 기어는 구름 전달 헬리컬 베벨 기어를 사용하는 다른 감속기에 비해 낮은 진동으로 최종 제품의 마무리를 향상시킵니다.
각도 전달 오차(회전 불균일)가 작
헬리컬 베벨 등의 감속 기구와 비교하여 각도 전달 오차가 약 1/10이기 때문에 매끄러운 회전이 최종 제품의 마무리를 향상시킵니다.
소형 기어 모터
컴팩트하고 사용하기 쉽고, 고효율의 감속기입니다. 용도에 따른 최적의 모터나 축 배치(평행축/ 직교축), 출력축 형상(중실/중공)이 제안 가능합니다.
짚 체인 시리즈
짚 체인 액추에이터
중·대형 사이즈
POINT
추력 MAX38.2kN
스트로크 MAX5000mm
속도 MAX1000mm/s
좁은 공간에서도 설치 OK,
다채롭게 사용할 수 있는 직선 작동기
고속＆고빈도 운전, 뛰어난 정지 정밀도와 제어성・컴팩트성을 겸비한 츠바키 독자적인 직선 작동기입니다.
타이밍 벨트 풀리
정확한 위치결정과 높은 동기성이 요구되는 용도에 최적
츠바키의 타이밍 벨트는, 고빈도·고속 운전이 가능하고 장수명.
고강도·고장력의 PX 벨트의 능력을 100% 끌어내는 순정 풀리와 함께 사용해 주세요.
DC 브러시리스 하이포이드 모터
인버터 구동과 서보 모터의 장점을 양립한 신뢰성 있는 모터입니다.
온도 센서 내장에 의해 모터의 소손 보호를 실현하고 있습니다.
TERUS 시리즈
웜 감속기에 기어 모터를 조합하는 것도 가능합니다. 웜 기어의 특징인 고강도, 기어 모터의 특징인 고효율을 겸비한 고기능 기어 모터입니다. 장치의 콤팩트화, 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있습니다.
TERUS 시리즈에 대해 자세히 알아보기
제품에 관한 문의는 이쪽으로부터
지지·안내·보호
케이블의 지지 안내에 있어서 이러한 과제는 없습니까?
케이블 베이어 (상당품 포함한다)로부터
- 마모분 부착에 의한 제품 불량을 줄이고 싶다
- 설치 공간을 줄이고 싶다.
- 케이블 및 튜브의 보호성을 향상시키고 싶습니다.
플랫 케이블 튜브에서
- 케이블 및 튜브의 처짐을 억제하고 싶습니다.
- 튀는 것을 억제하고 싶다.
클린 베이어 베어 플랫베이어가 다양한 과제를 해결합니다.
무대 이동
스테이지의 이동 부분의 케이블의 지지 안내에 플랫베이어가 채용되고 있습니다.
채용 장비
노광기, 본더, 마운터 등
채용 포인트
저발진, 저진동, 단선 대책
웨이퍼 카세트 이전
약액조간의 이재의 케이블의 지지 안내에 채용되고 있습니다.
서포트 멤버에 의해 장스트로크 화를 실현할 수 있습니다.
채용 장비
세척 장비
채용 포인트
저발진, 장스트로크
클린 베이어
청정도 ISO 클래스 1
츠바키 케이블・호스 지지 안내 장치 중에서 가장 저발진입니다.
ISO 클래스 1의 청정도를 실현하여 클린룸 내 사용에 최적입니다.
36dB(A) 이하의 저소음과 굴곡 횟수 1000만회 이상※과 긴 수명입니다. ※사내 시험의 결과
저발진
케이블이나 튜브, 서포트 멤버를 포드 내에 수납하는 것으로 마모분의 비산을 방지합니다.
케이블끼리의 접동이나 간섭에 의한 단선 리스크의 대책에도 유효합니다.
설치 공수 삭감
전용 케이블이나 튜브를 내장하여 클램프를 설치하여 제공합니다. 장치에 원활하게 설치할 수 있습니다.
다단 구조 대응
최대 6단 적재까지 ※대응 가능합니다. ※사내 시험의 결과
클린 베이어에 대해 자세히 알아보기
제품에 관한 문의는 이쪽으로부터
플랫베이어
청정도 ISO 클래스 2
츠바키 독자적인 자립식 플랫 케이블 시스템입니다.
독자 기구의 서포트 멤버를 내장하고 있어 장스트로크 로의 사용이 가능합니다. 사용 조건에 따라 전용 케이블이나 튜브를 내장하여 제공합니다.
저발진
제품 수율 향상에 기여합니다.
장스트로크
최대 스트로크 2.8m까지 대응 가능합니다.
(ZP 사양은 최대 1.8m)
플랫 케이블 (타사 제조)
플랫베이어 (츠바키제)
단선 대책
최대 6단 적재까지 ※대응 가능합니다. ※사내 시험의 결과
튀어 오름 억제
장비 주변부와 케이블 간섭을 방지합니다.
플랫 케이블 (타사 제조)
플랫베이어 (츠바키제)
플랫베이어에 대해 자세히 알아보기
제품에 관한 문의는 이쪽으로부터
플랫베이어 ZP 사양
취급성 향상
- 케이블 튜브의 출입이 용이하고, 부분 교환이 가능. 굴곡성, 내구성, 접동성이 좋은 츠바키 독자적인 개폐 튜브를 채용.
- 청정도 ISO 클래스 2 상당을 실현. (당사 사내 시험 결과로부터)
케이블 베이어 플라스틱 시리즈
PVDF 사양
진공 용도로
특수 불소 수지를 사용함으로써 진공 분위기 환경 하의 아웃 가스 대책에 유효합니다.
또한 우수한 내약품성도 가지고 있습니다.
케이블 베이어 플라스틱 시리즈 PVDF 사양에 대해 자세히 알아보기
제품에 관한 문의는 이쪽으로부터