기판 세정 공정에서는, 바구니를 몇번이나 고속으로 상하 이동시킬 필요가 있어, 직동 기구부의 부하시간률 100% 가까이가 되는 고부하 운전이 요구되고 있었습니다. 그러나, 종래의 유압 기구에서는 속도와 부하시간률에 제한이 있었기 때문에, 충분한 상하 동작을 할 수 없어, 오염 제거의 확실성에 과제가 있었습니다.

리니스피드잭을 채용하는 것으로, 연속 고속 동작을 안정적으로 실시할 수 있게 되어, 세정액 중에서의 상하 동작이 충분히 확보되어, 기판 표면에 부착된 불순물을 확실하게 제거할 수 있게 되었습니다.