플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조 장치에서는, 유리면에 미세한 먼지나 먼지가 부착하면 제품 불량으로 연결되기 때문에, 깨끗한 환경에서도 안심하고 사용할 수 있는 저발진 사양의 실린더가 요구되고 있었습니다.

게다가 생산성 향상을 위해 운전 사이클의 고속화나 내구성의 향상이 필요하고, 동시에 높은 정지 정밀도를 확보하는 것도 과제가 되고 있었다.

통상은 벨로우즈의 공기 구멍으로부터 먼지나 먼지가 새어, 유리면에의 부착이 우려되지만, 저발진 벨로우즈를 채용해, 벨로우즈 설치부에 에어 튜브를 설치하는 것으로, 외부에의 먼지의 비산을 방지. 깨끗한 환경에서도 사용할 수 있는 발진 저감을 실현했습니다.

さらに、製品特性（推力・速度・頻度）を装置仕様に合わせた特殊対応とすることで、運転サイクルを向上させ生産性の改善に貢献。加えて、カタログ品インダクションモータをサーボモータに変更することで、高精度な停止制御も実現。ガラス搬送時の停止精度を確保しました。