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고강도·고강성 벨트로의 치환으로 반도체 반송의 정지 정밀도와 청정도를 대폭 향상

울트라 PX 벨트 HY사양

과제
工数削減、摩耗粉・発塵
산업
액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신
용도
동력을 전달하기
제품
타이밍 벨트 / 타이밍 풀리

개요

반도체 검사 공정에서 사용되는 반송 장치에 있어서, 종래 타사제 타이밍 벨트 에서는 강성이 부족하고 정지 정밀도가 불충분하여, 워크의 인도나 가공 위치에 어긋남이 생기는 것이 과제가 되고 있었습니다.

또한, 마모에 의한 발진이 클린 환경에 악영향을 미치고, 검사 정밀도에 지장을 초래할 우려가 있었습니다.

거기서, 고강도·고강성의 타이밍 벨트 HY사양을 채용하는 것으로, 정지 정밀도가 대폭 향상해, 공정의 안정화를 실현했습니다.


과제

종래 사용되고 있던 타사제 타이밍 벨트 에서는, 정지 위치의 정밀도가 불충분하고, 워크의 인도나 가공 위치에 어긋남이 발생하는 케이스가 있었습니다.

게다가 타사 타이밍 벨트의 마모에 따른 발진이 반도체 제조에서 중요한 클린 환경을 손상시킬 위험이 되어 검사 대상에 악영향을 미칠 가능성이 있었다.


채용 제품

울트라 PX 벨트 HY사양

심선에 강성이 높은 카본과 유리 섬유를 특수 처리한 하이브리드 심선을 채용함으로써 고전동 능력을 실현했습니다.

장치의 콤팩트화나 질량 저감이 가능합니다.

하이브리드 심선을 채용하는 것으로 하중 신장의 경감을 실현했습니다. 고속·고부하 전동이 가능합니다.

또한, 감쇠 시간의 대폭적인 단축과 최대 진폭의 감소에 의해, 장치의 스피드 업을 실현합니다.


제품 채용에 의한 효과

츠바키의 타이밍 벨트 HY사양은, 강성이 높은 카본과 유리 섬유를 특수 처리한 하이브리드 심선을 채용하는 것으로, 초고강성·초고강도를 실현하고 있습니다. 이것을 채용함으로써, 워크의 위치 어긋남이 억제되어, 전달이나 가공 공정의 안정성이 높아졌습니다.

또한 저마찰 치포의 채용과 하이브리드 심선의 충격 흡수 효과로 깨끗한 운전을 실현했습니다.


쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.

어떠한 고민이라도 부담없이 연락주십시오.

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