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클린 룸의 케이블 보호, 발진을 억제해 수율 향상에

케이블 베이어

과제
마모분・발진
산업
액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신
용도
지지·안내하기
제품
케이블 베이어

개요

클린룸에서 사용되는 반도체·FPD 제조&검사장치 등은 워크 결함에 연결되는 발진을 억제하는 것이 중요합니다.

클린 베이어는 ISO 클린 클래스 1의 저발진성에 의해, 워크 상측에 있는 가동케이블을 클린에 지지·안내해, 수율 향상에 공헌합니다.


과제

반도체·FPD 제조&검사장치 등으로 워크보다 위에 케이블 보호장치의 가동부가 있는 경우, 발진에 의해 워크의 문제가 발생하고 있었습니다.


채용 제품

케이블 베이어 클린 베이어

쯔바키 케이블 베이어 중에서도 가장 저발진인 케이블 시스템입니다.

청정도 ISO 클래스 1을 실현해, 클린 룸내의 사용에 최적입니다.

36dB(A)以下の低騒音と屈曲回数1000万回以上の長寿命です。(当社テスト結果より)

유럽 RoHSⅡ 지침에 의해 제한된 임계값 이상의 특정 유해 물질은 사용하지 않습니다. (고객 지급 케이블 및 튜브 제외)


제품 채용에 의한 효과

불소 수지 소재의 포드로 일체화한 클린 베이어에 의해, 저발진화를 실현해, 수율 향상에 연결할 수 있었습니다.

또한 ISO 클린 클래스 1을 취득했기 때문에 클린 룸의 장비 신뢰성 향상에 기여할 수있었습니다.


쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.

어떠한 고민이라도 부담없이 연락주십시오.

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