리프터의 승강 지그 형상의 특형 대응으로 설비의 공간 절약화를 실현

리프트마스터

과제

공간 절약

산업

액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신

용도

직선 이동

제품

고속 리프터

개요

웨이퍼를 가열하는 히터를 유지보수할 때, 챔버 내에서 상승시켜 반대쪽으로 가져와야 합니다.

가능한 한 공간을 차지하지 않고 승강, 선회의 동작을 할 수 있는 기구로서 리프트마스터를 채용했습니다.

과제

제한된 공간에서 승강과 선회 2개의 동작이 가능한 기구가 필요했습니다.

채용 제품

리프트마스터

리프트마스터는 오버행・횡하중을 허용할 수 있는 일체 설치형 외팔보식 리프터입니다.

조립 불필요로 바닥에 그대로 설치, 암을 설치하는 것만으로 모터에 전원을 접속하면 즉시 사용하실 수 있습니다.

외팔보 부하(오버행 하중)를 지지하기 위해 고강성의 프레임 내에 나사축과 가이드를 컴팩트하게 내장하고 있습니다.

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제품 채용에 의한 효과

당초의 희망대로, 여분의 추가 스페이스를 확보하지 않고, 승강 기구를 실현할 수 있었습니다.

리프트마스터의 가대 자체를 선회할 수 있는 특형 모델의 제안도 있었습니다만, 최종적으로 리프트마스터에 장착하는 지그를 선회 가능한 구조로 하는 것으로 카탈로그 표준 모델의 리프트마스터를 채용.

볼 나사와 가이드, 프레임이 일체가 된 심플한 구조로, 선정, 설치도 편하게 할 수 있었습니다.

쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.

어떠한 고민이라도 부담없이 연락주십시오.

채용 제품의 자세한 것은 이쪽

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