웨이퍼의 대구경화나 PLP(Panel Level Package)화에 따라 반송 로봇의 횡행 거리가 길어지는 경향이 있습니다. 종래의 반송 설비에서는 케이블 베이어 설치 개소가 웨이퍼나 FOUP의 하측이었던 것도 있어 범용 모델의 TKP형을 사용하고 있었습니다만, 제품 수율 향상을 위해 장치 전체의 클린도를 높여 나갈 필요가 있어, 저발진·저진동·정숙성이 뛰어난 케이블 시스템을 필요로 하고 있었습니다.

범용 모델의 TKP형에서 핀과 핀구멍이 없는 링크리스 구조의 TKR형으로 바꾸어 케이블 베이어 본체로부터의 마모분 대책으로 제품 수율 향상을 실현. 게다가 정숙성이 높고 저진동이라는 특징도 있기 때문에, 설비의 안정 가동과 제조 환경의 개선을 실현할 수 있었습니다.

굴곡부의 구조 설계와 재료를 최적화하고, 휨의 유연성을 유지하면서 강성에 의한 장스트로크를 실현한 모델의 TKR28H52-EX가 발매된 것으로, 지금까지 TKR형을 채용할 수 없었던 반송 거리가 긴 설비에서도 높은 클린 클래스의 실현을 진행할 수 있습니다.