반도체 제조의 현장에서는 제품의 수율 향상을 실현함에 있어 클린 룸 내의 제조 설비로 슬라이딩부로부터의 발진을 억제하는 것이 과제가 되고 있습니다.

종래 설비에서 사용하고 있던 범용적인 케이블 베이어 에서는, 케이블 베이어 본체나 내용물의 케이블·튜브로부터의 발진에 의한 웨이퍼 등의 제품에의 이물 혼입(오염)이 문제가 되는 케이스가 있었습니다.

범용적인 케이블 베이어 와는 달리, 포드 형상의 시트에 케이블·튜브를 수납할 수 있는 클린 베이어의 채용을 검토했습니다만, 케이블·튜브의 내용이 변경될 가능성이 있기 때문에, 현장에서 재배선이 가능한 플랫베이어 ZP 사양의 채용을 결정했습니다.

이것에 의해 클린 룸내에서의 이물 혼입(오염)의 원인이 되는 발진 억제를 실현해, 제품의 수율의 향상을 실현. 또한 플랫베이어 ZP 사양은 본체가 유연한 PVC 튜브이기 때문에 도입한 협동 로봇의 횡행부 근처에서 작업에 종사하고 있는 작업원과의 접촉시의 리스크도 저감할 수 있어 제조 환경 전체의 향상에 연결되었습니다.