반도체 검사장치의 케이블 보호에 있어서, 종래의 플라스틱제 케이블 캐리어에서는 마모분의 발생에 의한 수율 저하 위험이 있기 때문에, 플랫 케이블이 이용되는 일이 있습니다.

그러나 일반적인 플랫 케이블의 경우 움직임에 따라 튀어 오르고 장치에 진동이 발생하여 검사에 영향을 미칠 위험이있었습니다.

플랫베이어를 채용하는 것으로, ISO 클래스 1의 엄격한 클린 룸 기준을 클리어. 마모 분말 발생의 억제를 실현했습니다.

게다가 케이블이나 튜브의 굴곡부의 부픔을 독자적인 구조로 억제해, 튀어 오르기나 가동시의 버터붙이·흔들림을 대폭 경감해, 검사 정밀도의 안정성을 확보할 수 있었습니다.