적용 사례집 파워록- 4. 산업 로봇
채용 기종
적용 사례
반도체 웨이퍼 반송 로봇·대형 액정 유리 반송 로봇
클린 룸 안에서 사용되는 이재용 핸들링 로봇에도 쯔바키의 파워록 채용되고 있습니다.
핸들링 로봇은 다수의 관절부를 가지고 있지만, 이러한 구동에는 벨트 풀리가 사용된다.
구동은 서보 모터나 스테핑 모터이므로 정밀도가 요구되므로 백래시가 있는 키 체결은 할 수 없습니다.
용량이 작으면 D컷이나 너트에 의한 고정이 일반적입니다만, 용량이 커지면 파워록 메인으로 사용됩니다.

클린 룸에서의 사용이므로, 파워록 에도 내환경 사양의 시리즈가 채용되고 있습니다.
클린도가 높은 환경에서의 사용이 많은 반도체 웨이퍼의 반송 로봇은 스테인리스 시리즈가,
비교적 청정도가 낮은(클래스 1000 이상) FPD 관련 반송에는 무전해 니켈 도금 사양이 메인으로 채용되고 있습니다.
채용 포인트
- ・특수 코팅 볼트의 채용에 의해 조립시의 오일・그리스 도포가 불필요
- ・RoHS 지령 적합품
