웨이퍼 세정 장치로 발진을 억제하면서 장스트로크 반송을 실현하여 워크 불량률을 개선

케이블 베이어 TKR형

과제

장스트로크, 마모 분말, 발진

산업

액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신

용도

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제품

케이블 베이어

개요

웨이퍼 세정을 실시하는 배치식 전자동 세정 장치에 있어서, 긴 공정간 반송에 대응하는 케이블 베이어 로서, 장스트로크 대응의 TKR28H52-EX가 채용되었습니다.

TKR형은 저발진이기 때문에, 발진에 의한 워크 불량률의 개선에 공헌했습니다.

과제

배치식 전자동 세정 장치에서는, 기판의 대형화에 의해 반송 거리가 길어지기 때문에, 장스트로크에 대응할 수 있는 범용적인 케이블 베이어를 사용하고 있었습니다.

그러나 범용적인 구조의 케이블 베이어 에서는 접동부로부터의 발진에 의해 제품에 마모분이 부착해 워크 불량이 발생하고 있었습니다.

채용 제품

케이블 베이어 TKR형

핀과 핀 구멍을 가지지 않는 링크리스 구조로 하는 것으로 청정도 ISO 클래스 1을 실현한, 플라스틱 시리즈 오픈형 중에서 가장 청정도가 높은 시리즈입니다.

범용적인 TKP형에 비해 저소음, 저발진에 의해 환경 부하 저감에 공헌합니다.

드라이 환경 사양(저습도 환경에 대응) 등 특수 사양의 대응이 가능합니다.

유럽 RoHSⅡ 지침에 의해 제한된 임계값 이상의 특정 유해 물질은 사용하지 않습니다. (수납하는 케이블·튜브 제외)

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제품 채용에 의한 효과

TKR28H52-EX는 핀과 핀 구멍부의 슬라이딩 마모가 없고, 내마모성이 뛰어난 고슬라이딩 재료의 채용에 의해 저발진과 장스트로크 양쪽을 실현했습니다.

그 때문에, 웨이퍼 세정의 긴 공정간 반송에서도 1개의 케이블 베이어로 대응할 수 있어, 발진을 억제해 워크의 불량률 개선에도 공헌했습니다.

쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.

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