플랫베이어의 채용으로 높은 클린도와 조립공수의 대폭 삭감을 실현 | 솔루션 사례

플랫베이어 채용으로 높은 클린도와 조립 공수의 대폭 삭감을 실현

케이블 베이어

과제

工数削減、摩耗粉・発塵

산업

액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신

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제품

케이블 베이어

개요

종래 TKR형을 사용하고 있던 개소의 한층 더 클린도 향상을 목적으로, 자립식의 플랫 케이블 시스템인 플랫베이어를 채용. 이에 따라 클린도의 향상과 더불어 케이블 베이어에 케이블 튜브를 삽입하는 작업도 불필요하게 되어, 장치에의 조립 공수의 대폭 삭감으로 이어졌습니다.

과제

반도체 제조 설비에 있어서는 발진 대책이 큰 과제가 되고 있습니다. 종래는 플라스틱 시리즈 오픈형으로 가장 청정도가 높은 TKR형을 채용하고 있었습니다만, 웨이퍼의 상부에서 가동하고 있기 때문에 한층 더 저발진화가 요구되고 있었습니다.

채용 제품

케이블 베이어 플랫베이어

플랫 케이블에서는 실현할 수 없는 장스트로크에 대응 가능한 자립식 플랫 케이블 시스템입니다.

청정도 ISO 클래스 1을 실현하여 수율 개선에 공헌합니다.

유럽 RoHSⅡ 지침에 의해 제한된 임계값 이상의 특정 유해 물질은 사용하지 않습니다. (고객 지급 케이블 및 튜브 제외)

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제품 채용에 의한 효과

당초, 클린도의 향상이 가능한 것에 더해 TKR형과 같이 케이블·튜브의 삽입이 유저측에서 가능한 플랫베이어 ZP 사양의 채용을 검토했습니다만, 해당 장치의 양산의 계획도 있었기 때문에 플랫베이어의 채용으로 했습니다. 케이블·튜브가 용착된 상태로 일식 납입되는 모델이기 때문에, 그대로 장치에 부착하는 것만이 되어 클린도의 향상 뿐만 아니라 장치에의 조립 공수를 대폭 삭감할 수 있었습니다.

쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.

어떠한 고민이라도 부담없이 연락주십시오.

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