에칭 장치의 강산 분위기에서 체인 교체 빈도 저감에 기여
티타늄 체인
과제
약품이 걸린
산업
액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신
용도
운반하기
제품
드라이브체인
개요
매우 높은 내식성이 요구되는 에칭 공정에서 티타늄 체인이 채용되었습니다.
티타늄 체인을 채용하는 것으로, 강산 분위기에서도 부식에 대응하기 쉬워져, 체인의 교체 빈도 저감에 공헌했습니다.
과제
산성 용액 등을 사용하는 에칭 공정과 같은 부식성이 높은 환경에서는 일반적인 체인에서는 부식이 진행되기 쉽고 빈번한 교환 작업이 발생했습니다.
또, 체인의 교환 빈도가 높아지면, 보전 작업의 부담이나 설비 정지에 연결되기 때문에, 강산 분위기에서도 길게 사용할 수 있는 매우 높은 내식성의 체인이 요구되고 있었습니다.
채용 제품
티타늄 체인
비자성으로 높은 내식성을 가진 티타늄제 체인입니다.
강산이나 강알칼리 등이 걸리는 분위기에서도 사용하실 수 있습니다.
제품 채용에 의한 효과
티타늄 체인을 채용함으로써, 산성 용액을 사용한 에칭 공정에서도 체인의 부식을 억제할 수 있어 교환 빈도를 대폭 감소시킬 수 있었다.
그 결과, 보전 작업의 부담 경감이나 설비 정지의 억제에 연결되었습니다.
쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.
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