클린 룸에서 사용되는 반도체·액정 제조&검사 장치 등으로, 발진분을 극도로 싫어하는 워크부보다 상부의 가동 부분에 사용되고 있습니다.
또, 워크보다 하부의 가동 부분에 대해서도 발진분의 날아오름 문제를 안고 있는 장치에서는 하부에도 사용되고 있습니다.

채용 포인트

• ・사용 조건에 따른 전용의 케이블이나 튜브를 짜넣어 제공해, 클린도 클래스 1의 저발진을 실현하는 케이블 시스템.
• ・굴곡 회수 1000만회 이상을 클리어, 높은 내구성을 실현.
• ・소음 레벨 38dB(A) 이하를 실현, 깨끗한 환경에 공헌.
• ・폐사 독자적인 서포트 멤버에 의해, 확실한 궤도를 유지해, 안정된 동작으로 케이블류를 지지・안내.