적용 사례집 직선 작동기- 고주파 운전

적용 사례

반도체 기판 세정 장치


제조된 기판을 자동으로 세정하는 장치입니다.
세정액층 안에서 기판을 넣은 바구니를 상하로 흔들어 표면에 붙은 불순물을 떨어뜨립니다.
불순물을 확실히 떨어뜨리기 때문에, 단시간에 잭은 신축을 몇번이나 반복합니다.
이때 잭의 부하시간률은 100% 가까이 됩니다.
고주파 운전 대응의 리니스피드잭 사용됩니다.


채용 포인트

  • ・연속 신축에 대응하는 고주파 운전
  • ・확실히 더러움을 떨어뜨리기 위한 고속 운전

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