クリーン環境下の昇降装置で低発塵と省スペース自動化を同時に実現
半導体露光装置の扉の開閉を自動化させるにあたり、装置レイアウトを変更せずに導入できる省スペースな電動アクチュエータの選定が求められていました。
また、クリーンルーム内の設備であるため低発塵性も重要でした。
そこで、低床・コンパクトな設計のジップチェーンアクチュエータを採用。クリーングリスを採用することで発塵リスクを抑制しつつ、既存設備へのスムーズな組み込みを実現しました。
| 도전 | 산업 | 용도 | 제품군 |
|---|---|---|---|
| 공간 절약 | 액정 · 반도체 · 전자 기기 · 통신 | 직선 이동 | 직선 작동기 |
도전
既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。
さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。
채용 제품
짚 체인 액추에이터
맞물림 체인(짚 체인)은, 2개의 체인이 지퍼와 같이 맞물려, 1개의 견고한 막대 모양이 되어 「밀기・끌어당김」을 할 수 있는 당사 독자 개발의 체인입니다.
짚 체인 액추에이터 는이 메커니즘을 채택한 완전히 새로운 직선 작동기 입니다.
짚 체인을 컴팩트한 케이스에 수납할 수 있기 때문에, 종래의 직선 작동기에 비해 압도적인 공간 절약화를 실현했습니다.
고속·고주파 운전에 대응하여 유압·공압 실린더에 비해 사용전력량도 대폭 삭감할 수 있습니다.
고정밀도로 다점 정지가 가능하고, 설치 방향도 자유입니다.
제품 채용에 의한 효과
ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。
1000㎜/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。
また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。
クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。
쯔바키는 귀사의 곤란해 짐 해결을 전력으로 서포트하겠습니다.
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