과제

기존의 장치 레이아웃을 크게 변경하지 않고 그대로 장치에 짜넣을 수 있는, 저상에서 공간 절약 설계의 컴팩트한 전동 액추에이터의 선정이 요구되고 있었습니다.

또한, 반도체 노광 장치가 설치된 클린 환경에서는 이물질 혼입이 제품 불량이나 수율 저하로 이어지므로 발진 위험을 최소화할 필요가 있었다.

채용 제품

짚 체인 액추에이터

맞물림 체인(짚 체인)은, 2개의 체인이 지퍼와 같이 맞물려, 1개의 견고한 막대 모양이 되어 「밀기・끌어당김」을 할 수 있는 당사 독자 개발의 체인입니다.

짚 체인 액추에이터 는이 메커니즘을 채택한 완전히 새로운 직선 작동기 입니다.

짚 체인을 컴팩트한 케이스에 수납할 수 있기 때문에, 종래의 직선 작동기에 비해 압도적인 공간 절약화를 실현했습니다.

고속·고주파 운전에 대응하여 유압·공압 실린더에 비해 사용전력량도 대폭 삭감할 수 있습니다.

고정밀도로 다점 정지가 가능하고, 설치 방향도 자유입니다.

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제품 채용에 의한 효과

짚 체인 액추에이터의 채용으로 장치 레이아웃을 변경하지 않고 자동화를 실현. 적은 설계 공수로 스피디한 자동화를 실현할 수 있었습니다.

1000㎜/s의 고속 운전에 의해 생산성의 향상·현장 작업의 효율화에도 공헌했습니다.

또, 클린 그리스의 채용에 의해, 발진 리스크도 대폭 저감.

깨끗한 환경 하에서도 안정된 동작이 가능해져 제품 품질의 유지로 이어졌습니다.